倾斜结构体、倾斜结构体的制造方法、及分光传感器

摘要

本发明涉及倾斜结构体、倾斜结构体的制造方法、及分光传感器。所述倾斜结构体的制造方法包括：工序（a），在基板的上方形成牺牲膜；工序（b），形成第一膜，所述第一膜包括与基板连接的第一部分、位于牺牲膜的上方的第二部分、位于第一部分及第二部分之间的第三部分，并且第三部分的一部分、或者在第二部分和第三部分的边界部分处，具有与第一部分相比膜厚较薄的区域；工序（c），去除牺牲膜；工序（d），在工序（c）之后，在膜厚较薄的区域处使第一膜弯曲，并使第一膜的第二部分相对于基板而倾斜。

主权项

一种倾斜结构体的制造方法，其包括：工序（a），在基板的上方形成牺牲膜；工序（b），形成第一膜，所述第一膜包括：与所述基板连接的第一部分、位于所述牺牲膜的上方的第二部分、和位于所述第一部分及所述第二部分之间的第三部分，并且，所述第三部分的一部分、或者在所述第二部分与所述第三部分的边界部分处，具有与所述第一部分相比膜厚较薄的区域；工序（c），去除所述牺牲膜；工序（d），在所述工序（c）之后，于所述膜厚较薄的区域处使所述第一膜弯曲，从而使所述第一膜的所述第二部分相对于所述基板而倾斜。