用于晶棒装运的真空吸盘及包括该真空吸盘的真空吊具

摘要

本实用新型公开了一种用于晶棒装运的真空吸盘，其包括吸附板(1)，所述吸附板(1)上设有与真空泵连通的抽风孔(11)；所述吸附板(1)的底壁设置为与所述晶棒的形状相配合的圆弧面，所述吸附板(1)的底壁四周贴合设有密封部件(12)。采用这种结构，使得吸附板与晶棒的接触面较大，进而增大密封部件与晶棒的接触面积，增强了真空吸盘对晶棒的吸附可靠性。因此，避免了装运过程中由于晶棒脱落伤人的情况，保证了该真空吸盘的工作安全性。本实用新型还提供一种用于晶棒装运的真空吊具，包括真空泵和真空吸盘；所述真空吸盘采用如上所述的真空吸盘，具有相同效果。

主权项

一种用于晶棒装运的真空吸盘，其包括吸附板(1)，所述吸附板(1)上设有与真空泵连通的抽风孔(11)；其特征在于，所述吸附板(1)的底壁设置为与所述晶棒的形状相配合的圆弧面，所述吸附板(1)的底壁四周贴合设有密封部件(12)。