衬底支撑结构、含有上述衬底支撑结构的反应腔室

摘要

本实用新型提供一种衬底支撑结构和含有上述衬底支撑结构的反应腔室，所述衬底支撑结构包括：衬底支撑盘和圆筒状旋转体，所述圆筒状旋转体竖直设置，所述衬底支撑盘支撑于所述圆筒状旋转体的顶端；所述圆筒状旋转体的顶端具有支撑件突起或支撑件凹槽，所述衬底支撑盘具有与对应所述支撑件突起或支撑件凹槽相对应的支撑盘凹槽或支撑盘突起，所述支撑件突起与支撑盘凹槽之间能够进行相对运动或所述支撑件凹槽与支撑盘突起之间能够进行相对运动，将所述衬底支撑盘锁紧于所述圆筒状旋转体。本实用新型解决了放置衬底的衬底支撑盘在转动过程中容易飞出去、转动不稳定的问题。

主权项

一种衬底支撑结构，包括：衬底支撑盘和圆筒状旋转体，所述圆筒状旋转体竖直设置，所述衬底支撑盘支撑于所述圆筒状旋转体的顶端；其特征在于：所述圆筒状旋转体的顶端具有支撑件突起或支撑件凹槽，所述衬底支撑盘具有与对应所述支撑件突起或支撑件凹槽相对应的支撑盘凹槽或支撑盘突起，所述支撑件突起与支撑盘凹槽之间能够进行相对运动或所述支撑件凹槽与支撑盘突起之间能够进行相对运动，将所述衬底支撑盘锁紧于所述圆筒状旋转体。