| 发明名称 | 一种硅片打磨装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种硅片打磨装置。该装置包括：微型电动机、打磨头、电池；所述微型电动机的本体轴伸顶端与其机身相连，末端设置有打磨硅片的所述打磨头；所述电池与所述微型电动机相连。通过利用本发明实施例所提供的硅片打磨装置，可代替人工打磨，降低硅片碎片率和提高打磨均匀性，因此可实现对电池硅片的有效去污。 | ||
| 申请公布号 | CN102950523A | 申请公布日期 | 2013.03.06 |
| 申请号 | CN201110252906.9 | 申请日期 | 2011.08.30 |
| 申请人 | 浚鑫科技股份有限公司 | 发明人 | 高贝贝;孙林杰 |
| 分类号 | B24B19/22(2006.01)I | 主分类号 | B24B19/22(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 逯长明 |
| 主权项 | 一种硅片打磨装置，其特征在于，包括：微型电动机、打磨头、电池；所述微型电动机的本体轴伸顶端与其机身相连，末端设置有打磨硅片的所述打磨头；所述电池与所述微型电动机相连。 | ||
| 地址 | 214443 江苏省无锡市江阴市申港镇镇澄路1011号 | ||