| 发明名称 |
Einrichtung für das epitaktische Aufwachsen einer Halbleiterschicht |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
CH516342(A) |
申请公布日期 |
1971.12.15 |
| 申请号 |
CH19700018786 |
申请日期 |
1970.12.18 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
RAYMOND GARNACHE,RICHARD |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/455;C23C16/458;C30B25/08;C30B25/14;(IPC1-7):B01J17/28 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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