CAPTEUR DE PRESSION COUPLE DE MANIERE ELECTROSTATIQUE

摘要

Un capteur sensible à la pression selon l'invention comprend un élément flexible (82) contenu dans un boîtier (86) et une membrane (96) configurée pour exercer une force électrostatique sur l'élément flexible (82) afin d'amener l'élément flexible (82) à répondre à des variations de pression sur la membrane (96). Un procédé de détection de pression comprend le fait de coupler de manière électrostatique une membrane (96) à un élément flexible (82) contenu dans un boîtier (86) afin de transférer une réponse de pression de la membrane (96) à l'élément flexible (82). Le mouvement de l'élément flexible (82) est converti en un signal de pression.