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发明名称 FILM
摘要
申请公布号 HK1149088(A1) 申请公布日期 2013.02.22
申请号 HK20110103042 申请日期 2011.03.25
申请人 SHIN-ETSU CHEMICAL CO. LTD. (SHINNETSU KAGAKU KABUSHIKIKAISHA) 发明人 SEKIHARA KAZUTOSHI
分类号 G03F1/64 主分类号 G03F1/64
代理机构 代理人
主权项
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