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Feinjustierungsmechanismus zur Rastersondenmikroskopie für die Feinjustierung der relativen Position zwischen einem zu messenden Objekt (Probe) und einer Sonde, um die Rauheit oder die physikalischen Eigenschaften des zu messenden Objekts durch Abtasten der Oberfläche des zu messenden Objekts mit der Sonde zu messen, aufweisend: ein den Feinjustierungsmechanismus bildendes piezoelektrisches Gerät; mindestens zwei Elektroden zum Anlegen einer Spannung an das piezoelektrische Gerät, wobei mindestens eine der Elektroden als Blindelektrode dient, an der keine Spannung anliegt, und die andere Elektrode als aktive Elektrode dient, die eine Zugspannung im piezoelektrischen Gerät erzeugt, wenn eine Spannung angelegt wird; einen oder zwei Widerstände zum Erkennen der Zugspannung an einer oder zwei Positionen der aktiven Elektrode; und einen oder mehrere Widerstände an der Blindelektrode, wobei die entsprechenden Widerstände der aktiven Elektrode und der Blindelektrode verbunden sind, um eine Brückenschaltung zu bilden, so dass ein Temperaturausgleich durch den Widerstand der Blindelektrode erfolgt, wenn die...
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