LITHOGRAPHIC APPARATUS AND METHOD.,申请号NL20122009168-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	LITHOGRAPHIC APPARATUS AND METHOD.
摘要
申请公布号	NL2009168(A)	申请公布日期	2013.02.21
申请号	NL20122009168	申请日期	2012.07.11
申请人	ASML NETHERLANDS B.V.	发明人	MULDER HEINE;HANSEN STEVEN;HOLLINK THIJS
分类号	G03F7/20	主分类号	G03F7/20
代理机构		代理人
主权项
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