| 发明名称 | 一种用于真空镀膜设备的伞架密封传动装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于真空镀膜设备的伞架密封传动装置，特点是包括磁流体密封、从外到内依次设置的同中心轴的固定法兰、传动轴和固定轴，所述传动轴与所述固定轴之间和所述传动轴与所述固定法兰之间均设有磁流体密封，所述传动轴和伞架传动连接。本实用新型传动结构不易磨损；将真空镀膜设备所需的辅助管路放置在固定轴内，安装检修方便。 | ||
| 申请公布号 | CN202746604U | 申请公布日期 | 2013.02.20 |
| 申请号 | CN201220275545.X | 申请日期 | 2012.06.08 |
| 申请人 | 杭州大和热磁电子有限公司 | 发明人 | 洪婧;陈军;刘黎明;关永卿;陈虹飞;田俊杰;汪文忠;邓凤林;郑栋;将卫金;赵山泉 |
| 分类号 | F16J15/43(2006.01)I;F16H57/04(2010.01)I;C23C14/22(2006.01)I | 主分类号 | F16J15/43(2006.01)I |
| 代理机构 | 杭州天正专利事务所有限公司 33201 | 代理人 | 王兵;黄美娟 |
| 主权项 | 一种用于真空镀膜设备的伞架密封传动装置，其特征在于：包括磁流体密封、从外到内依次设置的同中心轴的固定法兰、传动轴和固定轴，所述传动轴与所述固定轴之间和所述传动轴与所述固定法兰之间均设有磁流体密封，所述传动轴和伞架传动连接。 | ||
| 地址 | 310053 浙江省杭州市滨江区滨康路777号 | ||