一种石榴石型单晶生长用抽吸装置

摘要

本实用新型涉及一种制备钆镓石榴石和铽镓石榴石等含有Ga2O3组分的石榴石型单晶生长用抽吸装置，在密闭外壳内固定设置有若干层保温壳，在每层保温壳的顶端部固定有保温顶片，在每块保温顶片的对应位置上开设有出料孔，在保温壳内固定设有生长坩埚，在生长坩埚位置的最外层保温壳的外部设有发热线圈，在保温壳上开设有抽气管安装孔，在抽气管安装孔内插装有抽气管，抽气管的出气端与抽气泵相连；在密闭外壳外设有提拉机构，提拉机构的提拉杆穿过密闭外壳与出料孔。采用本实用新型的抽吸装置，可以得到了内部基本无散点、无包裹物的大尺寸、高质量的石榴石型单晶。

主权项

一种石榴石型单晶生长用抽吸装置，其特征是：在密闭外壳(1)内固定设置有若干层侧壁相贴的保温壳(2)，位于外层保温壳(2)的高度大于位于内层保温壳(2)的高度，在每层保温壳(2)的顶端部固定有保温顶片(3)，在每块保温顶片(3)的对应位置上开设有出料孔(4)，位于上层的保温顶片(3)上开设的出料孔(4)的孔径等于位于下层的保温顶片(3)上开设的出料孔(4)的孔径，在保温壳(2)内固定设有生长坩埚(5)，在生长坩埚(5)位置的最外层保温壳(2)的外部设有发热线圈(6)，在保温壳(2)上开设有抽气管安装孔，在抽气管安装孔内插装有抽气管(7)，所述抽气管(7)设置在最下层保温顶片(3)的下方，抽气管(7)的进气端伸入最内层保温壳(2)的内部空间中，抽气管(7)的出气端与抽气泵(8)相连；在密闭外壳(1)外设有提拉机构(9)，提拉机构(9)的提拉杆穿过密闭外壳(1)与出料孔(4)。