一种复合波片光轴对准方法及装置

摘要

本发明公开了一种复合波片光轴对准方法及装置。将待对准复合波片的两片晶片装在支架上之后分别安装在固定、旋转波片卡盘上；从光源发出的光经过起偏器后形成线偏振光；通过待对准的复合波片后，线偏振光偏振态发生变化；根据探测器探测到的透射光强信号可进一步获得待对准复合波片相位延迟波动量的变化幅值；比较相位延迟波动量的变化幅值的相对大小；通过电控旋转台控制旋转波片卡盘转动，直至将复合波片的光轴对准到所要求的精度范围内。装置包括光源，起偏器，固定波片卡盘，旋转波片卡盘，旋转检偏器，探测器，电控旋转台，计算机，步进电机和电控旋转台控制器。该方法可以实现对复合波片光轴进行高精度对准，装置简易，操作简单。

主权项

一种复合波片光轴对准方法，其特征在于，该方法包括下述步骤：第1步将线偏振光垂直投射到待对准复合波片的一片晶片上，并从复合波片的另一片晶片垂直出射；第2步利用探测器接受从所述另一片晶片垂直出射的透射光强信号，线偏振光经过待对准复合波片后偏振态会发生变化，所述透射光强信号中包含有待对准复合波片的实际相位延迟信息；第3步由第2步得到的透射光强信号可进一步获得待对准复合波片的实际相位延迟；第4步将第3步得到的复合波片的实际相位延迟与理想相位延迟比较，得到在存在对准误差α时复合波片的相位延迟波动量；第5步计算在要求的对准精度α0下复合波片相位延迟波动量的变化幅值A(α0)；第6步固定复合波片的一片晶片，根据实时得到的复合波片相位延迟波动量变化幅值A(α)与A(α0)的相对大小转动另外一片晶片，直至满足：A(α)≤A(α0)这样将两片晶片光轴的对准误差控制到α≤α0。