基于双能点多层膜的软X射线掠入射光学系统及其应用

摘要

本发明涉及一种基于双能点多层膜的软X射线掠入射光学系统及其应用，该光学系统包括物镜，物镜上镀设双能点多层膜，双能点多层膜由上方膜系和下方膜系构成，上方膜系针对工作能点软X射线反射，下方膜系针对8keV能点X射线反射；首先在实验室大气环境下利用Cu靶X射线管寻找到8keV能点X射线的最佳物点，此最佳物点与软X射线掠入射光学系统的最佳物点相同，然后切换到强激光装置，用于实际软X射线工作能点的ICF物理实验。与现有技术相比，本发明具有成本低、装调简单、实验时间短、不引人额外误差、不增加磁控溅射设备等优点。

主权项

一种基于双能点多层膜的软X射线掠入射光学系统，其特征在于，该光学系统包括物镜，所述的物镜上镀设双能点多层膜，所述的双能点多层膜由上方膜系和下方膜系构成，所述的上方膜系针对工作能点软X射线反射，所述的下方膜系针对8keV能点X射线反射。