掩模面颗粒度线性激光扫描检测系统

摘要

本发明涉及一种掩模面颗粒度线性激光扫描检测系统，包括依次设置的半导体激光器、激光准直组件、多面棱镜、f-θ物镜组件及接收探测组件，所述半导体激光器发出的激光光束经过激光准直组件准直后由多面棱镜转动反射至f-θ物镜组件，最后聚焦于掩模面进行扫描，扫描的检测信息反射至并由所述接收探测组件接收。本发明的掩模面颗粒度线性激光扫描检测系统采用了该结构简单的柱面镜，达到相同像质情况下，降低了设计难度，且在有限空间里增大扫描范围，体积减小且有利于光机装校；可以补偿多面棱镜反射面与被扫描面的不垂直度误差；降低了多面棱镜的精度从而降低加工成本，以及降低电机精度要求，同时降低f-θ的加工成本。

主权项

一种掩模面颗粒度线性激光扫描检测系统，其特征在于，包括依次设置的半导体激光器、激光准直组件、多面棱镜、f‑θ物镜组件及接收探测组件，所述半导体激光器发出的激光光束经过激光准直组件准直后由多面棱镜转动反射至f‑θ物镜组件，最后聚焦于掩模面进行扫描，扫描的检测信息反射至并由所述接收探测组件接收。