发明名称
摘要
申请公布号 JP5142257(B2) 申请公布日期 2013.02.13
申请号 JP20070250833 申请日期 2007.09.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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