被收容物搬送系统

摘要

固定有(FIMS)系统的半导体处理设备中之所谓搬送室被分成配置有搬送机器人之第二室及其系微小且包括作为(FIMS)系统能够固持传送盒盖的门之第一室。于第二室中，高于第一室之压力系藉由微量氮气来保持。于第一室，通常，乾净空气的下向流系经由(FFU)而使用。当晶圆被搬送时，氮气的下向流被使用。因此，搬送室中之氧化气体及(FFU)造成之释放材质可被减少。