电浆的磁局限设备及方法

摘要

本发明提供一种约束电浆的方法和装置。在本发明的一个实施例中，用于约束电浆的装置包括基板支撑件和形成磁场元件，所述形成磁场元件用于在靠近第一区域和第二区域间的边缘处形成磁场，其中该第一区域位于至少基板支撑件上方，为电浆形成之处，该第二区域为选择性限制电浆之处。该磁场具有一b场分量，垂直所需电浆约束方向，以根据用于形成电浆的制程条件，选择性限制电浆的带电粒种从第一区域到第二区域的移动。