| 摘要 |
本发明的目的是提供一种：既可抑制无尘室内之空气的乱流，又可获得薄板状材料较之大的上浮量之高可靠性的薄板状材料搬送用气动工作台、及具备该薄板状材料搬送用气动工作台的薄板状材料搬送装置。;为达成上述目的，本发明的薄板状材料搬送用气动工作台14具备：外壁部20，该外壁部20系呈上表面部16略平坦的箱状体，并在该上表面部16形成复数个用来对薄板状材料12之下面供给气体的供气孔18；和隔壁部28，该隔壁部28形成有复数个贯穿上下方向的中间通气孔26，并被设置于该外壁部20内，而将该外壁部20的内侧分隔成用来将上述气体导入该外壁部20内的下侧腔室22、及邻接于上述供气孔18的上侧腔室24；及气流平均分配衰减器30，该气流平均分配衰减器30被设置在上述上侧腔室24内，而可促使从上述中间通气孔26朝上述供气孔18之气流的分配平均化，并可使该气流的速度衰减。 |
