Verfahren zur linearen Strukturierung eines beschichteten Substrats zur Herstellung von Dünnschicht-Solarzellenmodulen

摘要

Verfahren zur linearen Strukturierung eines beschichteten Substrats zur Herstellung von Dünnschicht-Solarzellenmodulen, bei dem Spuren in einer oberen Strukturierungsebene angepasst an den Verlauf vorhandener Spuren einer unteren Strukturierungsebene erzeugt werden indem ein Strukturierungswerkzeug (8) über eine Steuergröße in y-Richtung angesteuert wird, die aus Bildaufnahmen der vorhandenen Spuren abgeleitet werden und das Substrat (1) unter dem Strukturierungswerkzeug (8) hin und her gefahren wird. Die Bildaufnahmen zur Erfassung vorhandener Spuren werden nur während der Hinfahrten erstellt. Die Spurerzeugung findet während der Hin- und Herfahrten statt.