使用非牛顿流体运输衬底的方法和装置

摘要

使用非牛顿流体运输衬底的方法和装置提供了用于运输衬底的方法。在该方法中，提供非牛顿流体以及衬底在非牛顿流体中悬浮。非牛顿流体能支撑衬底。此后，向非牛顿流体施加足够的力以使得非牛顿流体流动，从而该流沿着流的方向移动衬底。也描述了使用非牛顿流体运输衬底的装置和系统。

主权项

一种利用非牛顿流体运输衬底的装置，包括：具有导管形的空腔的腔室，该腔室设置为输送非牛顿流体，从而在空腔中运输衬底；在腔室的壁中的输入口，输入口设置为使非牛顿流体进入腔室；其中腔室具有输入端和输出端，输入端限定了能够接收衬底的第一开口，输出端限定了能够输出衬底的第二开口；腔室内的接近第二开口的保持销，保持销设置为接收衬底的边缘以阻止衬底经所述第二开口的移动，其中，所述腔室具有顶壁和底壁，所述顶壁和底壁具有通过其中形成的彼此相对的所述输入口，来自彼此相对的所述输入口的相对流通过向衬底的相对表面上施加力以帮助保持衬底悬浮在腔室内。