含氟化合物、含氟聚合物、正型光阻组合物、及利用该组合物的图案化方法

摘要

本发明揭示一种以式(1)代表之含氟化合物：;(1);其中R1代表含可聚合双键之基团，R2代表酸不稳定性保护基，R3代表氟原子或含氟烷基，及W代表二价键联基团。该化合物可提供含氟聚合物化合物，其具有1,000－1,000,000之重量平均分子量且包括以式(2)代表之重复单元：;(2);其中R2、R3及W如上述所定义，R4、R5及R6各独立代表氢原子、氟原子或单价有机基团，R4、R5及R6中至少两者可组合形成环。该聚合物化合物可提供能够形成对曝光具透明性及具有卓越的矩形性之图案的光阻组合物。