光罩盒之承载盒及其缓冲定位装置

摘要

光罩盒之承载盒包括一上盖体以及一下盖体，并于下盖体之容置空间中配置一缓冲定位装置。缓冲定位装置包含一承载结构及复数个弹性件，承载结构系由一底部以及与底部连接并向纵向方向弯折延伸的复数个翼部所组成，复数个弹性件系与底部连接并向另一相对之纵向弯折以形成复数个具有弯折部之弹性件，且这些弯折部之弹性件形成一共同平面，而共同平面与下盖体之底面接触，以避免承载盒于运送光罩盒途中所产生的碰撞或是震动，影响存放于光罩盒中的光罩而导致光罩之摩擦或损坏，因此具有较佳之防震与保护效果。