发明名称 贴合方法及贴合装置
摘要 本发明是在于提供一种可一面确保涂布时的接着层的均一性,一面抑止制造中的接着层的变动之贴合方法及贴合装置。;具有:第1旋转涂布装置1,其系于第1基板P1的一方的面涂布接着剂B1;第2旋转涂布装置2,其系于第2基板P2的一方的面涂布比第1基板的接着剂B1更厚的接着剂B2;前照射部4,其系使第2基板P2的接着剂B2暂时硬化;贴合部5,其系贴合第1基板P1之涂布接着剂B1的面与第2基板P2之涂布接着剂B2的面;及后照射部6,其系使第1基板P1与第2基板P2之间的接着剂B1,B2硬化。
申请公布号 TWI384476 申请公布日期 2013.02.01
申请号 TW096136372 申请日期 2007.09.28
申请人 芝浦机械电子装置股份有限公司 日本 发明人 成田悠
分类号 G11B7/24 主分类号 G11B7/24
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址 日本