发明名称 加工装置
摘要 本发明提供一种加工装置,该加工装置能够降低加工屑等异物附着于风扇的危险并防止风扇的吸引力的降低。加工装置具备一端与加工室连通且另一端与风扇连通而将该加工室内的气氛排出的排气路,该加工装置还具备配设在该加工室与该风扇之间的该排气路中并将从该加工室流入到该排气路的排气所含的含有加工屑的加工液从气体分离的分离构件,该分离构件具有由下腔部和上腔部构成的分离腔、吸气口、气体排出口和废液排出口,由从该吸气口吸入的排气在该分离腔内产生涡旋气流,由此,将该排气所含的含有加工屑的废液经由该废液排出口排出,而且将该排气经由该气体排出口排出,该分离腔的该上腔部与该下腔部以能够分离的方式连接。
申请公布号 CN102896703A 申请公布日期 2013.01.30
申请号 CN201210258415.X 申请日期 2012.07.24
申请人 株式会社迪思科 发明人 胁田信彦;楠部浩司
分类号 B28D5/00(2006.01)I;B28D7/00(2006.01)I;B28D7/02(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 主分类号 B28D5/00(2006.01)I
代理机构 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人 党晓林;王小东
主权项 一种加工装置,所述加工装置具备:卡盘工作台,所述卡盘工作台用于保持被加工物;加工构件,所述加工构件用于对由所述卡盘工作台保持的被加工物进行加工;加工液供给构件,所述加工液供给构件用于对所述加工构件和被加工物供给加工液;加工室,所述加工室围绕所述卡盘工作台、所述加工构件和所述加工液供给构件;以及排气路,所述排气路的一端与所述加工室连通并且所述排气路的另一端与风扇连通而将所述加工室内的气氛排出,所述加工装置的特征在于,所述加工装置还具备分离构件,所述分离构件配设在所述加工室与所述风扇之间的所述排气路中,该分离构件用于将从所述加工室流入到所述排气路的排气所含的含有加工屑的加工液从气体分离,所述分离构件具有:分离腔,所述分离腔由漏斗状的下腔部和从所述下腔部的上端立起的圆筒状的上腔部构成;吸气口,所述吸气口形成在所述上腔部的侧面并与所述加工室连通;气体排出口,所述气体排出口形成在所述上腔部的上端并与所述风扇连通;和废液排出口,所述废液排出口形成在所述下腔部的下端,由从所述吸气口吸入的排气在所述分离腔内产生涡旋气流,由此,将该排气所含的含有加工屑的废液经由所述废液排出口排出,并且将所述排气经由所述气体排出口排出;所述分离腔的所述上腔部与所述下腔部以能够分离的方式连接在一起。
地址 日本东京都