| 发明名称 | 提高硅片电性能的退火炉网带 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及单晶、多晶硅片生产用退火炉，特别涉及一种提高硅片电性能的退火炉网带，包括网带本体，网带本体的上表面设有等间隔的凸起，相邻两个凸起之间的间隔为2cm～8cm，凸起凸出网带本体的高度大致相同，凸起凸出网带本体的高度为0.5cm～1.5cm；凸起截面为倒V形。本实用新型提高硅片电性能的退火炉网带，每隔2cm～8cm网带上凸0.5cm～1.5cm，减少了网带与硅片的接触，在高温退火时能充分燃烧硅片中的杂质，达到了降低成本、减少污染、提高产能的效果和目的。 | ||
| 申请公布号 | CN202709715U | 申请公布日期 | 2013.01.30 |
| 申请号 | CN201220244743.X | 申请日期 | 2012.05.28 |
| 申请人 | 常州华盛恒能光电有限公司 | 发明人 | 王煜辉 |
| 分类号 | F27B9/30(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 主分类号 | F27B9/30(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市惠诚律师事务所 11353 | 代理人 | 王美华 |
| 主权项 | 一种提高硅片电性能的退火炉网带，包括网带本体（1），其特征在于：所述的网带本体（1）的上表面设有等间隔的凸起（2），相邻两个凸起（2）之间的间隔为2cm～8cm，所述的凸起（2）凸出网带本体（1）的高度大致相同，所述的凸起（2）凸出网带本体（1）的高度为0.5cm～1.5cm。 | ||
| 地址 | 213200 江苏省常州市金坛市华城路316号常州华盛恒能光电有限公司 | ||