发明名称 |
包括可变电阻材料的半导体器件及其制造方法 |
摘要 |
本发明提供包括可变电阻材料的半导体器件及其制造方法。该半导体器件包括:绝缘衬底;沟道层,在绝缘衬底上;栅极,从沟道层的上表面至少部分地延伸到沟道层中;源极和漏极,在沟道层上分别在栅极的相对两侧;栅绝缘层,围绕栅极且将栅极与沟道层、源极和漏极电绝缘;以及可变电阻材料层,在绝缘衬底与栅极之间。 |
申请公布号 |
CN102903753A |
申请公布日期 |
2013.01.30 |
申请号 |
CN201210090456.2 |
申请日期 |
2012.03.30 |
申请人 |
三星电子株式会社 |
发明人 |
田尚勋;柳寅敬;金昌桢;金英培 |
分类号 |
H01L29/78(2006.01)I;H01L29/10(2006.01)I;H01L29/221(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/78(2006.01)I |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 11105 |
代理人 |
张波 |
主权项 |
一种半导体器件,包括:绝缘衬底;沟道层,在所述绝缘衬底上;栅极,从所述沟道层的上表面至少部分地延伸到所述沟道层的内部;源极和漏极,在所述沟道层上分别在所述栅极的相对两侧;栅绝缘层,围绕所述栅极且将所述栅极与所述沟道层、所述源极和所述漏极电绝缘;以及可变电阻材料层,在所述绝缘衬底和所述栅极之间。 |
地址 |
韩国京畿道 |