划片槽内的射频测试图形结构

摘要

本发明公开了一种划片槽内的射频测试图形结构，五个射频压焊块按照“地”—“信号1”—“地”—“信号2”—“地”的顺序沿着划片槽长度方向排放在一条直线上；其中三个接地的压焊块由田字形的金属布线相互连接，该田字形的金属布线属于硅片的第一层金属；由三个接地的压焊块和田字形金属布线所组成的接地结构、接“信号1”的压焊块、接“信号2”的压焊块三者之间由射频器件相互连接，其金属连线属于硅片的最顶层金属或通孔金属电极。本发明还公开了与之对应的用于去嵌的“开路”和“短路”射频测试图形结构。本发明不仅能充分兼容划片槽的结构尺寸要求，而且能满足在线全晶圆射频测试监控的需求。

主权项

一种划片槽内的射频测试图形结构，其特征是，所述射频测试图形结构为：五个射频压焊块按照“地”——“信号1”——“地”——“信号2”——“地”的顺序沿着划片槽长度方向排放在一条直线上；其中三个接地的压焊块由田字形的金属布线相互连接，该田字形的金属布线属于硅片的第一层金属；由三个接地的压焊块和田字形金属布线所组成的接地结构、接“信号1”的压焊块、接“信号2”的压焊块三者之间由射频器件相互连接，其金属连线属于硅片的最顶层金属或通孔金属电极。