减少在处理工具中通过移动机构所产生的颗粒污染

摘要

在本文所描述的各种示例性实施方式中，公开了一种系统和相关的方法以减少衬底上的颗粒污染。该系统包括：衬底横移件机构，其具有导轨以传输衬底载体；一个或者多个横移件管道，其至少部分地围绕所述一个或多个导轨安置。所述一个或多个管道沿着所述导轨的长度的至少有效部分具有狭缝。横移件排气风机耦合连接到所述一个或多个横移件管道中的每一个的一端，所述风机提供充足的体积气流以使通过所述狭缝的所述体积气流的速率高于预定颗粒大小的最终沉降速率。所述风机进一步抽吸小于约所述预定颗粒大小的由所述衬底横移件机构产生的颗粒进入所述一个或多个横移件管道。

主权项

一种减少衬底上的颗粒污染的系统，所述系统包括：衬底横移件机构，其具有一个或多个导轨以传输衬底载体；一个或者多个横移件管道，其至少部分地围绕所述一个或多个导轨安置，所述一个或多个管道沿着所述一个或多个导轨的长度的至少有效部分具有狭缝；以及横移件排气风机，其耦合连接到所述一个或多个横移件管道中的每一个的一端，所述横移件排气风机提供充足的体积气流以给通过所述狭缝的所述体积气流提供高于预定颗粒大小的最终沉降速率的速率，所述横移件排气风机进一步抽吸小于约所述预定颗粒大小的由所述衬底横移件机构产生的颗粒进入所述一个或多个横移件管道。