新型区熔提纯炉

摘要

本实用新型公开了新型区熔提纯炉，包括柜体、区熔腔体、行车装置、电气控制装置以及真空机组，区熔腔体、行车装置以及电气控制装置均安装在柜体中，柜体为双层框架式结构，行车装置和区熔腔体安装在柜体的上部，电气控制装置安装在柜体的下部，真空机组固定在柜体外侧，区熔腔体中设置多根石英管，石英管间形成单独的区熔空间。本实用新型的有益效果是：通过PLC控制，从把样片放入区熔腔体到取出样片，整个过程均为自动化，不但实现了真空系统自动化，还实现了工艺过程自动化，提高了作业效率，石英管之间的间隔可以调整，合成初始融化时，各个区熔空间可独自操作，实现了多状态下熔炼的目的，并且具有结构简单、使用方便的特点。

主权项

新型区熔提纯炉，包括柜体(1)、区熔腔体(2)、行车装置(3)、电气控制装置(14)以及真空机组，其特征在于：区熔腔体(2)、行车装置(3)以及电气控制装置均安装在柜体(1)中，柜体(1)为双层框架式结构，行车装置(3)和区熔腔体(2)安装在柜体(1)的上部，电气控制装置(14)安装在柜体(1)的下部，真空机组固定在柜体(1)外侧，区熔腔体(2)中设置多根石英管(4)，石英管(4)上安装有加热盘(11)，石英管(4)间形成单独的区熔空间(5)，真空机组由机械泵(6)和气路系统组成，气路系统连接机械泵(6)和区熔腔体(2)。