叠层的等离子体致动器

摘要

本发明公开一种方法和设备，该设备包括第一数量的柔性材料层（803，804），第二数量的介电材料层（805，806），连接于该第一数量的层（803，804）的表面层的第一电极（808），和连接于该第一数量的层和第二数量的层的其中之一中的第二层的第二电极（809）。该第一数量的层（803，804）与第二数量的层（805，806）间布；该第一电极（808）和第二电极（809）构造成响应电压形成等离子体。

主权项

一种设备，包括：第一数量的柔性材料层；第二数量的介电材料层，其中所述第一数量的层与所述第二数量的层间布；连接于所述第一数量的层的表面层的第一电极，其中所述第一电极构造成暴露于空气中；以及连接于所述第一数量的层和第二数量的层的其中之一中的第二层的第二电极，其中所述第一电极和第二电极构造成响应于电压而形成等离子体。