奈米压印模具之硬度加强装置及其方法

摘要

本发明系揭露一种奈米压印模具之硬度加强装置，其包含一母模、一公模及一硬度加强部。公模系由一第一材料组成，用以压印一母模，在母模上产生一奈米结构图案，此母模系以一第二材料组成，其中第一材料之硬度高于第二材料，硬度加强部系放置一奈米压痕装置于母模上方，透过一奈米压痕技术予母模，以增强第二材料表面之硬度。