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Verfahren zur Überwachung der Intensität eines, während seiner Ausbreitung ein Plasma erzeugenden Elektronenstrahls, wobei zur Erkennung von Änderungen der Intensität des Elektronenstrahles eine direkt oder indirekt vom Elektronenstrahl erzeugte Elektronenstrahlung oder elektromagnetische Strahlung detektiert und ausgewertet wird und wobei ein zur messtechnischen Erfassung einer direkt oder indirekt vom Elektronenstrahl erzeugten Elektronenstrahlung oder elektromagnetischen Strahlung ausgebildeter Detektor vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, dass der Detektor durch die Wandung eines transparenten oder durchscheinenden Packstoffes auf das Plasma schaut.
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