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Vorrichtung zur Untersuchung einer Oberfläche (12) oder einer Schicht, mit einer Quelle (16) für polarisierte optische Strahlung zur Abgabe von Beleuchtungsstrahlung (18) auf die Oberfläche (12) oder Schicht, und einer Detektionseinrichtung zur im wesentlichen gleichzeitigen ortsaufgelösten Erfassung wenigstens einer Polarisationseigenschaft der von der Oberfläche (12) als Messstrahlung (36) zurückgeworfenen oder von der Schicht als Messstrahlung (36) abgegebenen optischen Strahlung, wobei die Detektionseinrichtung ein Feld (24; 68) von Photodetektionselementen (66), eine im Strahlengang der Messstrahlung (36) vor den Photodetektionselementen (66) angeordnete Anordnung (28; 50; 70; 78) von Polarisationsfiltern (34, 34', 40, 46, 48; 52; 61, 62, 62', 62'', 62'''; 72, 74, 76; 80, 82, 84), mittels derer die Messstrahlung (36) unter Bildung von zumindest in einem Bereich nahe der Polarisationsanordnung (28; 50; 70; 78) der Anordnung der Polarisationsfilter (34, 34', 40, 46, 48; 52; 61, 62, 62', 62'', 62'''; 72, 74, 76; 80, 82, 84) entsprechend...
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