| 摘要 |
本发明系以提供可控制碟化之研磨组成物的制造方法，以及使用此研磨组成物研磨基板之方法与基板之制造方法者。研磨组成物之制造方法中系以改变组成不同之二种预备组成物(A)及(B)之混合比率予以混合，制造复数种之研磨组成物，做为预备组成物(A)使用含(a)碾磨粒，(b)氧化剂，(c)一种或二种以上选自胺基酸、有机酸、无机酸所成群之酸，(d)界面活性剂之组成物，做为预备组成物(B)使用含(a)碾磨粒，(b)氧化剂之组成物。预备组成物(B)中还可以含有上述之酸(c)及界面活性剂(d)，这时预备组成物(A)及预备组成物(B)中至少有(a)、(b)、(c)、(d)之一种以上浓度为不同者。 |
