蒸镀装置

摘要

本发明涉及一种蒸镀装置，其特征在于，包括：真空腔室；蒸镀源，其设置在上述真空腔室的内部；蒸镀源驱动部，其使上述蒸镀源相对于上述真空腔室的内部的基板进行线性移动；导向臂，其一端部引出到上述真空腔室的外部，另一端部收容与上述蒸镀源连接的动力管线，通过该导向臂的一端部来使上述动力管线引出到上述真空腔室的外部，该导向臂的另一端部能够与上述蒸镀源枢轴结合，并且该导向臂跟随上述蒸镀源的线性移动进行轴转动作的同时向长度方向滑动；以及滑动引导部，其以维持密封的状态设置在上述真空腔室和导向臂，用于引导上述导向臂的滑动。

主权项

一种蒸镀装置，其特征在于，包括：真空腔室；蒸镀源，其设置在上述真空腔室的内部；蒸镀源驱动部，其使上述蒸镀源相对于上述真空腔室的内部的基板进行线性移动；导向臂，其一端部引出到上述真空腔室外部，另一端部收容与上述蒸镀源连接的动力管线，通过该导向臂的一端部来使上述动力管线引出到上述真空腔室的外部，该导向臂的另一端部能够与上述蒸镀源枢轴结合，并且该导向臂跟随上述蒸镀源的线性移动进行轴转动作的同时向长度方向滑动；以及滑动引导部，其以维持密封的状态设置在上述真空腔室和导向臂，用于引导上述导向臂的滑动。