一种蓝宝石LED图形衬底及其制备方法

摘要

本发明公开了一种蓝宝石LED图形衬底及其制备方法，该衬底是基于蓝宝石平片衬底表面沉积DBR的基础上，采用ICP干法刻蚀制备各种图形结构。本发明的蓝宝石LED图形衬底实际上为在蓝宝石衬底上预先沉积DBR反射层的新型图形衬底，相比传统背镀DBR有更加明显的优势，不仅能有效提高光取出效率，而且能优化外延层的横向生长方式，提高外延材料的晶格质量，具有非常实用的商业价值。

主权项

一种蓝宝石LED图形衬底，其特征在于：包括蓝宝石衬底、沉积在所述的蓝宝石衬底上的分布布拉格反射镜DBR层、沉积于所述的分布布拉格反射镜DBR层上方的GaN层，所述的分布布拉格反射镜DBR层由多层周期结构的薄膜构成并刻蚀形成有柱状图形阵列，所述的图形阵列露出于所述的GaN层的上表面。