一种制备低碳低氧硅锭的盖板改进结构

摘要

本实用新型公布了一种制备低碳低氧硅锭的盖板改进结构，包括石墨气体套管，石墨气体套管内部为中空结构，在石墨气体套管上安装有石墨加热器，在石墨加热器下方安装有坩埚盖板，石墨气体套管穿过坩埚盖板，在所述坩埚盖板底部安装有楔形导气装置。本实用新型通过在坩埚盖板下方安装楔形导气装置，楔形导气装置围绕在石墨气体套管开口的四周，消除了涡流的通路，可以为惰性气体提供畅通的通道，能够有效地将铸造过程中产生的一氧化碳、二氧化碳以及一氧化硅等气体迅速地带走，从而大大降低上述气体进入熔体硅中的几率，可以有效地降低多晶硅铸锭中的非金属杂质碳和氧的含量，提高了产品的质量。

主权项

一种制备低碳低氧硅锭的盖板改进结构，包括石墨气体套管（5），石墨气体套管（5）内部为中空结构，在石墨气体套管（5）上安装有石墨加热器（6），在石墨加热器（6）下方安装有坩埚盖板（7），石墨气体套管（5）穿过坩埚盖板（7），其特征在于：在所述坩埚盖板（7）底部安装有楔形导气装置（14）。