| 摘要 |
<p>본 발명은 증발원 장치에 관한 것으로, 탄성력을 적용한 진공증발원의 움직이는 도가니 구조를 제공한다. 본 발명의 증발원 장치는 소스 물질이 저장되며 일측에 개구부를 구비하는 제1 도가니와, 제1 도가니 외측에 제1 도가니를 감싸도록 설치되는 제2 도가니와, 제2 도가니에 열을 공급하여 소스 물질을 가열하는 히터와, 제1 도가니와 제2 도가니 사이에 설치되는 탄성 부재를 포함하며, 여기에서, 탄성 부재는 소스 물질의 무게에 반비례 형태로 대응하는 변위를 구비한다.</p> |
