发明名称 |
碳膜叠层体 |
摘要 |
本发明的目的在于,解决作为以往的将铜箔用于基板中的利用热CVD的石墨烯成膜的课题的晶体尺寸小的问题,提供一种堆积了晶体尺寸更大的石墨烯而成的碳膜叠层体,通过制成如下的碳膜叠层体,即,具备具有由在原子水平下平坦的平台面和原子层台阶构成的表面的蓝宝石(0001)单晶基板、在基板上外延生长而形成的铜(111)单晶薄膜、和堆积在铜(111)单晶薄膜上的石墨烯,可以制成晶体尺寸大的石墨烯。 |
申请公布号 |
CN102859032A |
申请公布日期 |
2013.01.02 |
申请号 |
CN201180020414.5 |
申请日期 |
2011.02.25 |
申请人 |
独立行政法人产业技术总合研究所 |
发明人 |
长谷川雅考;石原正统;古贺义纪;金载浩;津川和夫;饭岛澄男 |
分类号 |
C23C16/26(2006.01)I;C01B31/04(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/26(2006.01)I |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 11105 |
代理人 |
张平元 |
主权项 |
一种碳膜叠层体,其具备单晶基板、在该基板上外延生长而形成的铜(111)单晶薄膜、和形成在该铜(111)单晶薄膜上的石墨烯。 |
地址 |
日本东京都 |