| 发明名称 | 压电致动器以及压电致动器的制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种压电致动器以及压电致动器的制造方法。在基底基板(11)形成有固定电极(12)。在基底基板(11)的表面形成有电介质层(13)。在电介质层(13)的表面形成有至少一部分为与基底基板(11)分离的形状的下部电极(14)。在下部电极(14)的表面形成有压电体层(15)。在压电体层(15)的表面侧形成有上部电极(16)。由于因压电驱动电压的施加所引起的压电体层(15)的形变，使得上部电极(16)或者下部电极(14)的至少一部分成为可动的可动电极。从而实现与以往相比能以简单的构成以及简单的制造流程形成的压电致动器。 | ||
| 申请公布号 | CN102859734A | 申请公布日期 | 2013.01.02 |
| 申请号 | CN201180019897.7 | 申请日期 | 2011.04.06 |
| 申请人 | 株式会社村田制作所 | 发明人 | 山本观照;山本悌二;掘露伊保龙 |
| 分类号 | H01L41/09(2006.01)I;H01L41/187(2006.01)I;H01L41/39(2013.01)I;H03K17/96(2006.01)I | 主分类号 | H01L41/09(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 齐秀凤 |
| 主权项 | 一种压电致动器，具备：绝缘性的基底基板；固定电极，其形成于该基底基板；压电驱动电压施加用的下部电极，其至少一部分由与所述基底基板分离的形状构成；压电体层，其形成于该下部电极的与所述基底基板相反的面侧；所述压电驱动电压施加用的上部电极，其形成于该压电体层的与所述下部电极相反的面侧；和可动电极，其与所述固定电极之间的距离根据因所述压电驱动电压的施加所引起的所述压电体层的形变而发生变化，该可动电极的至少一部分由所述上部电极或者所述下部电极形成。 | ||
| 地址 | 日本京都府 | ||