微粒清除装置

摘要

本实用新型提供了一种微粒清除装置，包括控制面板、吸气马达、清洁装置、吸气管道、吸嘴和吸嘴位置调节装置，所述吸气马达通过所述控制面板控制其吸力的大小，所述吸气马达与所述清洁装置连接，所述清洁装置通过所述吸气管道与所述吸嘴连接，所述吸嘴安装在所述吸嘴位置调节装置上。本实用新型通过吸气马达与吸嘴等设备的引入，将微粒吸入所述清洁装置中，进而通过将清洁装置进行拆卸清理，完成对微粒的清除，同时通过所述吸嘴调节装置，使得吸嘴可以在水平方向和垂直方向任意移动，从而能够使得微粒的清除更全方位，效果更佳，本实用新型利用装置代替了纯手工的清理程序，简单有效准确地清除了晶圆上的微粒。

主权项

一种微粒清除装置，其特征在于：包括控制面板、吸气马达、清洁装置、吸气管道、吸嘴和吸嘴位置调节装置，所述吸气马达通过所述控制面板控制其吸力的大小与开关，所述吸气马达与所述清洁装置连接，所述清洁装置通过所述吸气管道与所述吸嘴连接，所述吸嘴安装在所述吸嘴位置调节装置上。