对位检测方法和对位检测装置

摘要

一种对位检测方法和对位检测装置。此对位检测方法包含对位晶片的晶片对准标记于透光基板的基板对准标记上；利用第一检测单元来穿透过晶片，而撷取晶片对准标记的位置；利用第二检测单元来穿透过透光基板，而撷取基板对准标记的位置；以及比对晶片对准标记的位置与基板对准标记的位置。