| 发明名称 |
METHOD OF POLISHING A TUNGSTEN-CONTAINING SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
MY147636(A) |
申请公布日期 |
2012.12.31 |
| 申请号 |
MY2009PI03160 |
申请日期 |
2008.01.31 |
| 申请人 |
CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION |
发明人 |
ROBERT VACASSY;DINESH KHANNA;ALEXANDER SIMPSON |
| 分类号 |
C09G1/02;C09K3/14;C23F3/06;H01L21/321 |
主分类号 |
C09G1/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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