发明名称 PROCEDE DE FABRICATION D'UN SUBSTRAT SEMI-CONDUCTEUR, ET SUBSTRAT SEMI-CONDUCTEUR
摘要 <p>L'invention concerne un procédé de fabrication d'un dispositif semi-conducteur , caractérisé en ce qu'il comprend : - une première étape (E1) consistant à former un substrat (1) support semi-conducteur comprenant o une première couche (2) poreuse constituée d'un matériau semi-conducteur, et o une deuxième couche (9) poreuse constituée d'un matériau semi-conducteur, présentant une porosité inférieure à la porosité de la première couche (2), - une deuxième étape (E2) consistant à fournir un substrat (4) donneur semi-conducteur, comprenant une couche utile (6) constituée d'un matériau semi-conducteur, et - une troisième étape (E3) consistant à o coller le substrat (1) support et le substrat (4) donneur, o transférer au moins une partie de la couche utile (6) du substrat (4) donneur vers le substrat (1) support, pour former un dispositif (15) semi-conducteur.</p>
申请公布号 FR2977075(A1) 申请公布日期 2012.12.28
申请号 FR20110055578 申请日期 2011.06.23
申请人 S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES 发明人 FIGUET CHRISTOPHE;KONONCHUK OLEG
分类号 H01L21/306;H01L21/20;H01L21/301 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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