| 发明名称 |
STRAIN MEASUREMENT TEST MODULE |
| 摘要 |
A test structure for measuring strain in the channel of transistors. A method of correlating transistor performance with channel strain. |
| 申请公布号 |
US2012325009(A1) |
申请公布日期 |
2012.12.27 |
| 申请号 |
US201113169987 |
申请日期 |
2011.06.27 |
| 申请人 |
CHUNG JAYHOON;VARTULI CATHERINE BETH;LIAN GUODA;TEXAS INSTRUMENTS |
发明人 |
CHUNG JAYHOON;VARTULI CATHERINE BETH;LIAN GUODA |
| 分类号 |
H01L23/544;G01B7/16 |
主分类号 |
H01L23/544 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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