偏向放大器之稳定时间检查方法及偏向放大器之故障判定方法

摘要

本发明之偏向放大器之稳定时间检查方法，其特征在于：复数次交替发射不同之2种图案，该2种图案系藉由设定稳定时间后，以所设定之稳定时间驱动之偏向放大器之输出所控制之偏向器使荷电粒子束偏向，使前述荷电粒子束通过第1及第2成形孔隙而成形；测定发射之束电流；对所测定之束电流进行积分电流之运算；及运算并输出所运算出之积分电流与基准积分电流之差分。

主权项

一种偏向放大器之稳定时间检查方法，其特征在于：复数次交替发射藉由设定稳定时间后，以所设定之稳定时间驱动之偏向放大器之输出所控制之偏向器使荷电粒子束偏向，使前述荷电粒子束通过第1及第2成形孔隙而成形之不同之2种图案；测定所发射之束电流；对所测定之束电流进行积分电流之运算；且运算并输出运算出之积分电流与基准积分电流之差分。如请求项1之偏向放大器之稳定时间检查方法，其系一面改变前述稳定时间，一面进行前述发射、测定前述束电流、运算前述积分电流、及运算前述差分。如请求项2之偏向放大器之稳定时间检查方法，其中前述稳定时间系缓慢地增大。如请求项1之偏向放大器之稳定时间检查方法，其中前述束电流系使用法拉第杯进行测定。如请求项1之偏向放大器之稳定时间检查方法，其中前述基准积分电流系藉由将分别连续复数次发射前述2种图案时之各束电流进行积分而得到。如请求项2之偏向放大器之稳定时间检查方法，其中复数次发射前述2种图案时，系使前述荷电粒子束每次通过前述第1及第2成形孔隙各自之相同位置。一种偏向放大器之故障判定方法，其特征在于：复数次交替发射藉由设定稳定时间后，以所设定之稳定时间驱动之偏向放大器之输出所控制之偏向器使荷电粒子束偏向，使前述荷电粒子束通过第1及第2成形孔隙而成形之不同之2种图案；测定所发射之束电流；对所测定之束电流进行积分电流之运算；运算所运算出之积分电流与基准积分电流之差分；且当运算出之差分与前述稳定时间之基准值之差分超过特定范围时，判定为前述偏向放大器故障。如请求项7之偏向放大器之故障判定方法，其中前述束电流系使用法拉第杯进行测定。如请求项7之偏向放大器之故障判定方法，其系一面改变前述稳定时间，一面进行前述发射、测定前述束电流、运算前述积分电流、运算前述差分、及进行前述判定。如请求项7之偏向放大器之故障判定方法，其中前述基准积分电流系藉由将分别连续复数次发射前述2种图案时之各束电流进行积分而得到。