| 主权项 |
一种自动化晶圆暂存系统，其应用于半导体厂之搬运系统中，而该搬运系统包含有至少一传输带与至少一运输载具，所述之运输载具以单一方向于该传输带中移动以传输晶圆至闲置机台内加工，该自动化晶圆暂存系统包括有：一分析判断模组，系电性连接搬运系统与闲置机台，以分析所述之运输载具与闲置机台之间的相对位置，并发出搬运命令；至少一储存缓冲单元，其系用以暂存晶圆且移动的设置于该传输带上并电性连接该分析判断模组，其中所述之储存缓冲单元接收搬运命令而移动至最佳位置，所述之运输载具移动至该最佳位置并搬运暂存于所述之储存缓冲单元的晶圆至闲置机台进行加工，且所述之储存缓冲单元完成搬运命令后而自动回归初始位置，以接收下一次的搬运命令。如申请专利范围第1项所述之自动化晶圆暂存系统，其中该储存缓冲单元能以双向方向于该传输带上移动。如申请专利范围第1项所述之自动化晶圆暂存系统，其中该最佳位置系指闲置机台的位置。如申请专利范围第1项所述之自动化晶圆暂存系统，其中该自动化晶圆暂存系统可进一步增设复数个，且该复数个自动化晶圆暂存系统分别应用于半导体厂之搬运系统中，以进行区域型的晶圆搬运。如申请专利范围第1项所述之自动化晶圆暂存系统，其中所述之运输载具为屋顶悬吊式载具(Overhead Hoist Shuttle,OHS)、屋顶悬吊式运输器具(Overhead Hoist Transport,OHT)或轨道式运输器具(Rail Guided Vehicle,RGV)。一种自动化晶圆暂存系统，其设置于传输带上并用来暂时存放晶圆，而该传输带上设有至少一个用以搬运晶圆的运输载具，而所述之运输载具以单一方向于该传输带上移动并携带晶圆至闲置机台内进行加工，而该自动化晶圆暂存系统包括有：一分析判断模组，该分析判断模组设于该传输带上且电性连接于所述之运输载具与闲置机台之间；至少一储存缓冲单元，其系用以暂时存放晶圆，且该储存缓冲单元双向移动的设置于该传输带上并电性连接该分析判断模组，其中该分析判断模组判断所述之运输载具、闲置机台与该储存缓冲单元之间的相对位置并控制该储存缓冲单元至闲置机台的位置，让移动至闲置机台的运输载具将暂存于该储存缓冲单元的晶圆搬运至闲置机台内进行加工，且所述之储存缓冲单元传输晶圆至所述之运输载具后而自动回归初始位置。如申请专利范围第6项所述之自动化晶圆暂存系统，其中该自动化晶圆暂存系统可进一步增设复数个，且该复数个自动化晶圆暂存系统分别设置于该传输带上，以进行区域型的晶圆搬运。如申请专利范围第6项所述之自动化晶圆暂存系统，其中所述之运输载具为屋顶悬吊式载具(Overhead Hoist Shuttle,OHS)、屋顶悬吊式运输器具(Overhead Hoist Transport,OHT)、轨道式运输器具(Rail Guided Vehicle,RGV)。一种自动化晶圆暂存系统之控制方法，其中该自动化晶圆暂存系统应用于半导体厂之搬运系统中以搬运晶圆至闲置机台内加工，而该搬运系统包含有至少一传输带与至少一运输载具，该自动化晶圆暂存系统包含有一分析判断模组与至少一储存缓冲单元，而自动化晶圆暂存系统之控制方法步骤包含如下：透过分析判断模组分析运输载具、闲置机台与储存缓冲单元之间的相对位置；依据该相对位置，该分析判断模组判断产生出一第一位置资讯以控制该储存缓冲单元移动至一最佳位置，同时，该运输载具亦移动至该最佳位置，而该储存缓冲单元传输晶圆至该运输载具，该运输载具进一步将晶圆搬运至闲置机台内进行加工；或是依据该相对位置，该分析判断模组判断产生出一第二位置资讯而限制该储存缓冲单元移动，同时，该运输载具移动至该储存缓冲单元的位置，而该储存缓冲单元将储存于其内的晶圆传输至该运输载具，该运输载具接续搬运晶圆至闲置机台内进行加工。如申请专利范围第9项所述之自动化晶圆暂存系统之控制方法，其中所述之运输载具为屋顶悬吊式载具(Overhead Hoist Shuttle,OHS)、屋顶悬吊式运输器具(Overhead Hoist Transport,OHT)或轨道式运输器具(Rail Guided Vehicle,RGV)。如申请专利范围第9项所述之自动化晶圆暂存系统之控制方法，其中该运输载具与该储存缓冲单元移动的设置于一传输带上。如申请专利范围第11项所述之自动化晶圆暂存系统之控制方法，其中该运输载具于该传输带上以单一方向移动。如申请专利范围第11项所述之自动化晶圆暂存系统之控制方法，其中该储存缓冲单元于该传输带上以双向方向移动。如申请专利范围第9项所述之自动化晶圆暂存系统之控制方法，其中该储存缓冲单元系暂存晶圆，用以当作缓冲区。如申请专利范围第9项所述之自动化晶圆暂存系统之控制方法，其中该第一位置资讯系指该闲置机台位于该运输载具与该储存缓冲单元之间，而该运输载具朝该闲置机台移动。如申请专利范围第9项所述之自动化晶圆暂存系统之控制方法，其中该最佳位置系指闲置机台的位置。如申请专利范围第9项所述之自动化晶圆暂存系统之控制方法，其中该第二位置资讯系指该储存缓冲单元位于该运输载具与该闲置机台之间，而该运输载具朝该闲置机台移动。 |
