等离子处理装置

摘要

本发明提供一种等离子处理装置。该装置对于从处理容器内的高频电极和其他电子构件进入到供电线、信号线等线路中来的高频噪声，能够将并联谐振频率任意错开地进行调整，从而能够高效且稳定可靠地阻断不同频率的高频噪声中的所有高频噪声。滤波器（102（1））在圆筒形的外导体（110）中，与该外导体（110）同轴地收容有线圈（104（1）），在线圈（104（1））与外导体（110）之间与该线圈（104（1））和外导体（110）同轴地设置有环状构件（122）。优选环状构件（122）是在与外导体（110）的轴线方向正交的平面上呈圆环状地延伸的板体，优选环状构件（122）由铜、铝等导体构成，且与外导体（110）电连接而与线圈（104（1））电绝缘。

主权项

一种等离子处理装置，该装置将高频电源与配置在用于进行等离子处理的处理容器内的高频电极电连接，且在用于将加热电源和设置在上述高频电极的发热体电连接的供电线上设置有滤波器，该滤波器使经由上述发热体进入到该供电线中来的规定频率的高频噪声衰减或阻止该高频噪声，上述滤波器包括：一个线圈，其构成上述供电线的一部分；筒形的外导体，其用于收容或包围上述线圈，且与上述线圈成对地形成分布常数线路，该分布常数线路利用多个频率构成并联谐振；并联谐振频率调节部，用于将上述多个并联谐振频率中的至少一个频率错开地进行调节，上述多个并联谐振频率中的一个频率与上述高频噪声的频率一致或相近，由此对上述高频噪声的频率施加足够高的阻抗。