用于材料处理组件的热感测

摘要

描述了用于监测此种材料处理组件中的热状况的热感测系统和方法的各种实施例。热感测系统包括传感器线缆，传感器线缆结合一个或多个热传感器或联接到一个或多个热传感器上。传感器线缆定位在组件中，且热传感器提供温度测量。在各种实施例中，传感器线缆和热传感器可为光学装置或电气装置。

主权项

一种用于感测升温反应器中的热状况的系统，所述系统包括：安装在所述反应器内的冷却元件；安装到所述冷却元件上的传感器线缆；沿所述传感器线缆的长度定位的两个或多个热传感器；以及联接到所述传感器线缆上来接收来自于所述热传感器的信息的控制器。