发明名称 |
透射电镜微栅 |
摘要 |
本发明涉及一种透射电镜微栅,其包括一网格、一碳纳米管膜状结构及至少两个电极。所述碳纳米管膜状结构设置在该网格表面。所述至少两个电极间隔设置且分别与该碳纳米管膜状结构电连接。该碳纳米管膜状结构包括多个均匀分布的碳纳米管,该多个碳纳米管形成多个微孔。 |
申请公布号 |
CN102005357B |
申请公布日期 |
2012.12.19 |
申请号 |
CN200910189914.6 |
申请日期 |
2009.08.28 |
申请人 |
清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 |
发明人 |
张丽娜;冯辰;姜开利;范守善 |
分类号 |
H01J37/02(2006.01)I;H01J37/26(2006.01)I |
主分类号 |
H01J37/02(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种透射电镜微栅,其包括一网格,其特征在于,该透射电镜微栅还包括:一碳纳米管膜状结构,所述碳纳米管膜状结构与该网格表面电绝缘,该碳纳米管膜状结构包括多个均匀分布的碳纳米管,该多个碳纳米管形成多个微孔;及至少两个电极间隔设置且分别与该碳纳米管膜状结构电连接。 |
地址 |
100084 北京市海淀区清华园1号清华大学清华-富士康纳米科技研究中心401室 |