发明名称 透射电镜微栅
摘要 本发明涉及一种透射电镜微栅,其包括一网格、一碳纳米管膜状结构及至少两个电极。所述碳纳米管膜状结构设置在该网格表面。所述至少两个电极间隔设置且分别与该碳纳米管膜状结构电连接。该碳纳米管膜状结构包括多个均匀分布的碳纳米管,该多个碳纳米管形成多个微孔。
申请公布号 CN102005357B 申请公布日期 2012.12.19
申请号 CN200910189914.6 申请日期 2009.08.28
申请人 清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 发明人 张丽娜;冯辰;姜开利;范守善
分类号 H01J37/02(2006.01)I;H01J37/26(2006.01)I 主分类号 H01J37/02(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种透射电镜微栅,其包括一网格,其特征在于,该透射电镜微栅还包括:一碳纳米管膜状结构,所述碳纳米管膜状结构与该网格表面电绝缘,该碳纳米管膜状结构包括多个均匀分布的碳纳米管,该多个碳纳米管形成多个微孔;及至少两个电极间隔设置且分别与该碳纳米管膜状结构电连接。
地址 100084 北京市海淀区清华园1号清华大学清华-富士康纳米科技研究中心401室